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產(chǎn)品詳細頁(yè)實(shí)時(shí)膜厚檢測儀
- 產(chǎn)品型號:DIGILEM-CPM-Xe/Halogen
- 更新時(shí)間:2024-03-19
- 產(chǎn)品介紹:實(shí)時(shí)的干涉測量設備,提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面,由于膜厚和高度變化導致不同的光路長(cháng)度時(shí),使用干涉測量法。通過(guò)循環(huán),系統能在監控區使用實(shí)時(shí)監測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度,在規定的膜厚和槽深來(lái)進(jìn)行終點(diǎn)檢測?;谶@個(gè)相對簡(jiǎn)單的理論,系統不但非常穩定,并且可用于復雜的多層薄膜。
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產(chǎn)品介紹
概要
實(shí)時(shí)的干涉測量設備,提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面,由于膜厚和高度變化導致不同的光路長(cháng)度時(shí),使用干涉測量法。通過(guò)循環(huán),系統能在監控區使用實(shí)時(shí)監測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度,在規定的膜厚和槽深來(lái)進(jìn)行終點(diǎn)檢測?;谶@個(gè)相對簡(jiǎn)單的理論,系統不但非常穩定,并且可用于復雜的多層薄膜。
特征
- 監測透明薄膜的厚度和高度,如GaN,ALGaN,SiO2 和SiN。
- 適用于等離子體頻譜分析。
- 生產(chǎn)線(xiàn)使用內置軟件。
- 終點(diǎn)檢測法的靈活應用。
- *的加工特點(diǎn)。