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實(shí)時(shí)膜厚檢測儀
- 產(chǎn)品型號：LEM-CT-670-G50
- 更新時(shí)間：2024-03-19
- 產(chǎn)品介紹：概要實(shí)時(shí)的干涉測量設備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度變化導致不同的光路長(cháng)度時(shí)，使用干涉測量法。通過(guò)循環(huán)，系統能在監控區使用實(shí)時(shí)監測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度，在規定的膜厚和槽深來(lái)進(jìn)行終點(diǎn)檢測?；谶@個(gè)相對簡(jiǎn)單的理論，系統不但非常穩定，并且可用于復雜的多層薄膜。
- 在線(xiàn)留言 86-21-54933058/54933060/54933358/54182486/28097339
產(chǎn)品介紹
概要
實(shí)時(shí)的干涉測量設備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度變化導致不同的光路長(cháng)度時(shí)，使用干涉測量法。通過(guò)循環(huán)，系統能在監控區使用實(shí)時(shí)監測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度，在規定的膜厚和槽深來(lái)進(jìn)行終點(diǎn)檢測?；谶@個(gè)相對簡(jiǎn)單的理論，系統不但非常穩定，并且可用于復雜的多層薄膜。
特征
- 兩種類(lèi)型的激光器，可兼容大范圍的薄膜，包括SiN, SiO2, GaAs, InP, AlGaAs, and GaN.
- 生產(chǎn)線(xiàn)使用內置軟件。
- 終點(diǎn)檢測法的靈活應用。
- *的加工特點(diǎn)。