殘余氣體分析儀

產(chǎn)品介紹

特征

• 較為緊湊的安裝尺寸和較輕的重量

與傳統的殘余氣體分析儀相比，尺寸較小，這使它容易整合到您的系統之中。

• 高性能

在只占傳統電極一小部分的體積里，微型化的九電極排列提供了良好的靈敏度。

• 高壓力條件下可使用

可以在高于0.9Pa（7mTorr, 9 x 10^-3mbar）的壓力條件下使用，在許多需要昂貴真空泵的應用當中，可以簡(jiǎn)化或者省略泵的使用。

• 已經(jīng)校準過(guò)的可替換傳感器接頭

此傳感器接頭在出貨之前已經(jīng)進(jìn)行過(guò)預調諧和校準。允許客戶(hù)自己在現場(chǎng)進(jìn)行傳感器的更換。

• 網(wǎng)絡(luò )傳感器

升級到八電極后，可以通過(guò)一臺使用RS485接口的電腦進(jìn)行監測。此系統也可以通過(guò)以太網(wǎng)進(jìn)行遠程監測。

• 用戶(hù)友好軟件

微電極掃描軟件允許用戶(hù)用各種不同的方式監測氣體的部分壓力，如趨勢曲線(xiàn)圖，相似性曲線(xiàn)圖，泄露模式，條形統計圖，3D等

• 監測控制

可選擇性的監測控制器可以安裝在反應室的光譜發(fā)生器上，使用戶(hù)無(wú)需電腦可以監測真空反應室。

■測量原理

殘余氣體分析儀是由一個(gè)離子源，一個(gè)質(zhì)量分光儀和一個(gè)監測單元組成。當殘余氣體與從高溫金屬絲釋放的熱電子碰撞后，它將被離子化。并且，這些因此產(chǎn)生的離子會(huì )加速會(huì )合到質(zhì)量能譜儀上。在質(zhì)量能譜儀上內，直流和交流電壓被應用到四個(gè)圓柱形的電極上（方形排列），從而讓離子因質(zhì)量的不同而被分離開(kāi)。這些被分開(kāi)的離子通過(guò)法拉第杯作為直流電被發(fā)現。這種離子電流是與殘余氣體的質(zhì)量成比例的。