聯(lián)系我們
- 上海首立實(shí)業(yè)有限公司
- 公司地址：上海市閔行區古美路1471號華城廣場(chǎng)307室
- 公司傳真：86-21-54933358-813
- 聯(lián)系QQ：
掃一掃，立刻溝通
你的位置：首頁(yè) > 產(chǎn)品展示 > > HORIBA（過(guò)程&環(huán)境） >Auto 色新型相調制橢圓偏振光譜儀
產(chǎn)品詳細頁(yè)
Auto 色新型相調制橢圓偏振光譜儀
- 產(chǎn)品型號：auto se
- 更新時(shí)間：2024-03-19
- 產(chǎn)品介紹：Auto 色新型相調制橢圓偏振光譜儀
- 在線(xiàn)留言 86-21-54933058/54933060/54933358/54182486/28097339
產(chǎn)品介紹
概要
Auto 色是一種新型的按鍵式全自動(dòng)薄膜測量分析工具，簡(jiǎn)單的幾個(gè)按鍵操作，即可完成全自動(dòng)測量和分析。
幾秒鐘可完成樣品分析，并提供完整的樣品堆疊特性報告-包括薄膜厚度、光學(xué)常數、表面粗糙度和薄膜的不均勻性。
Auto 色 是一種高性能系統，它包括XYZ自動(dòng)樣品臺、測量點(diǎn)實(shí)時(shí)成像和光斑尺寸自動(dòng)選擇功能，其各種各樣的附件可滿(mǎn)足用戶(hù)對多種應用的需求。
Auto 色借助完整的操作向導，自動(dòng)檢測并診斷問(wèn)題、同時(shí)提供完整的操作指南，實(shí)現對故障進(jìn)行輕松處理。
便捷的操作性能和大量自動(dòng)化特性，使得 Auto 色 成為一種可用于常規薄膜測量和質(zhì)量控制的設備。
特征
- 薄膜分析變得輕松簡(jiǎn)單
- 高性能系統
- *的光斑可視系統（技術(shù)）
- 多種附件選擇
- 智能診斷
Auto 色的可視化系統
Auto 色 集成了*的MyAutoView光斑可視系統（技術(shù)），該系統配備在標準橢圓偏振光譜儀中。
MyAutoView允許操作者全程觀(guān)測樣品光斑，以確保各種類(lèi)型的樣品都能在*正確的位置，以合適的光斑尺寸進(jìn)行測量。
Auto 色 所提供的圖像有大約1毫米的視場(chǎng)和10微米的分辨率,這對于大多數測量來(lái)說(shuō)是非常必要的。
樣品類(lèi)型 | MyAutoView光斑可視系統的優(yōu)點(diǎn) | 舉例 |
圖形化樣品 | 對圖形區域上的測量光斑直接觀(guān)測. |
|
玷污樣品 | 直接觀(guān)測樣品上的測量光斑，以便選擇合適測量位置. |
|
透明樣品 | -只有前反射時(shí)，直接選擇 |
|
粗燥樣品或不均勻表面的樣品 （有條紋、瑕疵） | 直接觀(guān)測樣品的測量光斑，以便選擇合適測量點(diǎn). |
|
微結構樣品 | 直接觀(guān)測樣品上能夠表示0.8mm的細線(xiàn)特征的測量光斑. |
|
圓柱狀或球形的樣品 | 直接觀(guān)測在這種區域上用于光斑定位的平面。右圖顯示，光斑大小沒(méi)有被優(yōu)化到適合橢圓偏振的測量. |
|
放在液體池、控溫臺等附件里的樣品 | 對于放在液體池里的樣品，測量定位變得非常容易（圖示樣品）. |
|
技術(shù)參數：
光譜范圍：440-858nm
光斑尺寸： 500 µm x 750 µm; 500 µm x 500 µm; 250 µm x 500 µm; 250 µm x 250 µm; 70 µm x 250 µm; 100 µm x 100 µm; 50 µm x 60 µm; 25 µm x 60 µm
測試時(shí)間：通常為5秒，可小于1秒
準確度：NIST 1000 Å SiO2 /Si: d ± 4 Å - n（632.8 nm） ± 0.002， Fu色d silica: n ± 0.004
觀(guān)測樣品： CCD-視場(chǎng)范圍1.33*1mm，分辨率1µm
重復性：± 0.2 Å （測試條件 NIST 150 Å SiO2 /Si ）
樣品臺尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自動(dòng)調節；真空檢測；Z軸高度50mm
探測器：CCD-分辨率：2nm
測角儀：固定在70度，可預設為66度或者61.5度